中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
11th Annual Conference of the China Society of Micro-Nano Technology
2009年8月12-14日，哈尔滨，中国
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| 主办单位 |
中国微米纳米技术学会 |
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| 承办单位 |
哈尔滨工业大学 大连理工大学 黑龙江大学 |
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| 协办单位 |
教育部 科技部 总装备部 国家自然科学基金委员会
工业与信息化部 中国科学技术协会 |
中国微米纳米技术学术年会是目前我国专门面向MEMS技术与纳米技术的跨学科、跨地域、跨行业的学术年会，已经成为我国从事MEMS技术和纳米技术的高等院校、研究院所和企业展示与交流最新研究成果的重要平台。会议将邀请国内知名学者就微米和纳米科技专题展开讨论，推动最新研究成果共享，加强跨学科交流合作，促进微米纳米技术发展。会议征文的主要内容包括：
- 微米/纳米加工技术
- 微传感器
- 微执行器
- 微流控器件和系统
- 微机电系统应用
- 纳米材料
- 纳米器件与系统
- 微能源技术
- 微纳米技术中的基础理论
- 微纳测控技术
- 微纳米光学器件与系统
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