
中国微米纳米技术学会常务理事、副理事长-张大成
姓名:张大成
职称:教授
职务:副主任
单位:北京大学
研究方向:MEME工艺、芯片制造、微纳结构试验方法、微纳工艺设备
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教育背景
1979-09—1984-07 北京工业大学 微电子 学士
1996-09—2000-07 北京大学 微电子 硕士
2000-09—2004-06 北京大学 微电子 博士
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工作经历
1984-07—1992-12 北京市半导体器件三厂(宇翔微电子) 国内首条进口4寸生产线主任工程师
1993-03—现在 北京大学,微纳电子学系 副主任
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主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)
硅基MEMS工艺及应用技术研究(第一个MEMS工艺国家奖)
2003,北京市科技进步一等奖
2006,国家发明二等奖
微小面积键合强度检测方法(第一个中国提案的IEC微机电标准)
国际电工委员会(IEC)标准:IEC 62047-25,2017年发布
2018年IEC1906奖(杰出贡献技术专家奖)(当年国内IEC专家获奖率不足16/10000)
北京大学微电子工艺实验室的CMOS-MEMS共线研究能力建设和管理
就是在美国也没有一个大学能够与之媲美(耶鲁校长2005-12年新闻周刊文章),保持至今
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学会、社团兼职情况
2015-09—现在 国家微机电标委会 副主任委员
2013—现在 IEC微机械标委会SC47 专家
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