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中国微米纳米技术学会常务理事、副理事长-张大成

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中国微米纳米技术学会常务理事、副理事长-张大成

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中国微米纳米技术学会常务理事、副理事长-张大成

  

  姓名:张大成

  职称:教授

  职务:副主任

  单位:北京大学

  研究方向:MEME工艺、芯片制造、微纳结构试验方法、微纳工艺设备     

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  教育背景

  1979-09—1984-07 北京工业大学 微电子 学士

  1996-09—2000-07 北京大学 微电子 硕士

  2000-09—2004-06 北京大学 微电子 博士

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  工作经历

  1984-07—1992-12 北京市半导体器件三厂(宇翔微电子) 国内首条进口4寸生产线主任工程师

  1993-03—现在 北京大学,微纳电子学系 副主任

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  主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

  硅基MEMS工艺及应用技术研究(第一个MEMS工艺国家奖)

  2003,北京市科技进步一等奖

  2006,国家发明二等奖

  微小面积键合强度检测方法(第一个中国提案的IEC微机电标准)

  国际电工委员会(IEC)标准:IEC 62047-25,2017年发布

  2018年IEC1906奖(杰出贡献技术专家奖)(当年国内IEC专家获奖率不足16/10000)

  北京大学微电子工艺实验室的CMOS-MEMS共线研究能力建设和管理

  就是在美国也没有一个大学能够与之媲美(耶鲁校长2005-12年新闻周刊文章),保持至今

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  学会、社团兼职情况

  2015-09—现在 国家微机电标委会 副主任委员

 

  2013—现在 IEC微机械标委会SC47 专家

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