中国微米纳米技术学会常务理事、副理事长-张大成

　　姓名：张大成

　　职称：教授

　　职务：副主任

　　单位：北京大学

　　研究方向：MEME工艺、芯片制造、微纳结构试验方法、微纳工艺设备     

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　　教育背景

　　1979-09—1984-07 北京工业大学 微电子 学士

　　1996-09—2000-07 北京大学 微电子 硕士

　　2000-09—2004-06 北京大学 微电子 博士

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　　工作经历

　　1984-07—1992-12 北京市半导体器件三厂(宇翔微电子) 国内首条进口4寸生产线主任工程师

　　1993-03—现在 北京大学，微纳电子学系 副主任

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　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　硅基MEMS工艺及应用技术研究(第一个MEMS工艺国家奖)

　　2003，北京市科技进步一等奖

　　2006，国家发明二等奖

　　微小面积键合强度检测方法(第一个中国提案的IEC微机电标准)

　　国际电工委员会(IEC)标准：IEC 62047-25，2017年发布

　　2018年IEC1906奖(杰出贡献技术专家奖)(当年国内IEC专家获奖率不足16/10000)

　　北京大学微电子工艺实验室的CMOS-MEMS共线研究能力建设和管理

　　就是在美国也没有一个大学能够与之媲美(耶鲁校长2005-12年新闻周刊文章)，保持至今

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　　学会、社团兼职情况

　　2015-09—现在 国家微机电标委会 副主任委员

　　2013—现在 IEC微机械标委会SC47 专家