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中国微米纳米技术学会理事-刘世元

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  • 发布时间:2021-12-14 13:56
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中国微米纳米技术学会理事-刘世元

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中国微米纳米技术学会理事-刘世元

 

       姓名:刘世元

  职称:教授

  单位:华中科技大学

  研究方向:微纳测试技术、精密光学仪器、微纳制造技术

  

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  教育背景

  1987.09-1991.06 华中理工大学 内燃机 学士

  1991.09-1994.06 华中理工大学 内燃机 硕士

  1994.09-1998.04 华中理工大学 机械制造 博士

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      工作经历

      1998.04-2002.11 华中理工大学机械学院 讲师

  2000.02-2001.02 英国曼彻斯特大学 访问学者

  2002.11-2005.11 华中科技大学机械学院 副教授

  2005.11至今 华中科技大学机械学院 教授

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  主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

  长期从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作致力于光学工程、精密机械、仪器科学、光电材料、集成电路等学科的交叉融合,强调基础研究与产业应用并重。

获国家杰出青年科学基金、科技部领军人才等人才项目支持,先后主持国家自然科学基金(7项,包括国基金杰青项目、重大仪器项目、重点项目)、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项、国家863计划等国家级科研项目30余项。

获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励,获授权国际国内发明专利100余件,发表学术论文200余篇,国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化,在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。

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  学会、社团兼职情况

  2015.1至今 国际测量与仪器委员会 委员

  2019.1至今 中国仪器仪表学会显微仪器分会 副理事长

  2018.1至今 中国机械工程学会微纳制造技术分会 常务委员

  2017.9至今 中国光学学会光学测试专业委员会 常务委员

  2017.1至今 中国计量测试学会计量仪器专业委员会 常务委员

  2017.1至今 湖北省仪器仪表学会 副理事长

      2021.12至今 中国微米纳米技术学会 理事

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