
中国微米纳米技术学会理事-刘世元
姓名:刘世元
职称:教授
单位:华中科技大学
研究方向:微纳测试技术、精密光学仪器、微纳制造技术
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教育背景
1987.09-1991.06 华中理工大学 内燃机 学士
1991.09-1994.06 华中理工大学 内燃机 硕士
1994.09-1998.04 华中理工大学 机械制造 博士
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工作经历
1998.04-2002.11 华中理工大学机械学院 讲师
2000.02-2001.02 英国曼彻斯特大学 访问学者
2002.11-2005.11 华中科技大学机械学院 副教授
2005.11至今 华中科技大学机械学院 教授
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主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)
长期从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作,致力于光学工程、精密机械、仪器科学、光电材料、集成电路等学科的交叉融合,强调基础研究与产业应用并重。
获国家杰出青年科学基金、科技部领军人才等人才项目支持,先后主持国家自然科学基金(7项,包括国基金杰青项目、重大仪器项目、重点项目)、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项、国家863计划等国家级科研项目30余项。
获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励,获授权国际国内发明专利100余件,发表学术论文200余篇,国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化,在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。
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学会、社团兼职情况
2015.1至今 国际测量与仪器委员会 委员
2019.1至今 中国仪器仪表学会显微仪器分会 副理事长
2018.1至今 中国机械工程学会微纳制造技术分会 常务委员
2017.9至今 中国光学学会光学测试专业委员会 常务委员
2017.1至今 中国计量测试学会计量仪器专业委员会 常务委员
2017.1至今 湖北省仪器仪表学会 副理事长
2021.12至今 中国微米纳米技术学会 理事
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