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中国微米纳米技术学会理事-阮勇

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  • 发布时间:2021-12-15 14:54
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中国微米纳米技术学会理事-阮勇

 

      姓名:阮勇

  职称:研究员

  职务:教师

  单位:清华大学

  研究方向:MEMS加工技术及其相关器件,特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器

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  教育背景

  1994.09—1998.07 西安电子科技大学计算机系,计算机应用专业,工学学士

  2000.09—2006.01 北京大学微纳电子学系,微电子学与固体电子学专业,硕博连读,理学博士

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  工作经历

      1998.08—2000.07 航天科技集团 西安微电子技术研究所 助理工程师

  2006.04—2008.06 清华大学 微电子学研究所博士后

  2010.03—2013.11 清华大学 精密仪器与机械学系 助理研究员

  2013.12—至今 清华大学精密仪器系 副研究员

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  主要学术贡献(包括主要论文、获奖情况)

  1 硅MEMS工艺与设备基础 论著

  2 微型传感器 论著

  3 教育部科技发明奖证书 科技奖励

  4 Micromachined Vibrating-Reed Electrometer in Silicon-on-GlassTechnology 论文

  5 Design and Fabrication of a Novel MEMS Relay with Low Actuation Voltage 论文

  6 Analysis and Measurement of Residual Stress in Bridge Membrane MEMS Relays 论文

  7 Sensing of single electrons using micro and nano technologies: a review 论文

  8 Effect of Excess Bi Content on Electrical Properties of Bife0.95cr0.05o3 Thin Films 论文

  9 Effects of Annealing Temperature on Structure and Electrical Properties of Sol- Gel Derived 0.65pmn-0.35Pt Thin Film 论文

  10 Synthesis of Ba0.6sr0.4tio3 Platelet Crystals Based on Bi4ti3ol2 Precursor by Topochemical Microcrystal Conversion 论文

  11 Comprehensive Design Considerations and Noise Modeling of Preamplifier for MEMS Electrometry 论文

  12 继电器 专利

  13 原子腔的制备方法 专利

  14 压电薄膜传感器及其制备方法 专利

  15 深硅刻蚀方法 专利

  16 一硅针阵列的制备方法 专利

  17 磁芯线圈及其制备方法 专利

  18 图案化的金属层的制备方法 专利

  19 氮化硅薄膜及其制备方法 专利

  20 二氧化硅薄膜及其制备方法 专利

  21 基 于 S O G 圆 片 的 深 硅 刻 蚀 方 法 专利

  22 耐高温无线MEMS温度传感系统 专利

  23 具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法 专利

  24 MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法 专利

  25 一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法 专利

  26 MEMS硅桥膜机构继电器及其制备方法 专利

  27 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室 专利

  28 一种碱金属单质封装方法 专利

  29 静电荷电磁混合驱动全集成MEMS继电器及其制备方法 专利

  30 MEMS继电器技术 成果转化证明

  31 微机电(MEMS)产业化技术 成果转化证明

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  学会、社团兼职情况

  2019.8-至今 国防科技工业复杂微细结构加工技术创新中心 理事

  2018.4-至今 智能传感器创新联盟 副理事长

  2017.6-至今 中国仪器仪表学会物联网工作委员会 理事

  2013.4-至今 淄博高新区MEMS研究院 执行院长

  2011.2-至今 中国微米纳米技术学会 高级会员

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