中国微米纳米技术学会理事-唐彬

 姓名：唐彬

 职称：研究员

 职务：502科室主任

 单位：中国工程物理研究院电子工程研究所

研究方向：微纳系统工程

    ——————————————————————————————

　　教育背景

　　2001-09至2005-07 重庆大学 电子科学与技术 学士

　　2005-09至2008-07 重庆大学 精密仪器及机械 硕士

　　2008-09至2010-10 名古屋大学 微纳系统工程 博士

　　——————————————————————————————

　　工作经历

       2010-11至2012-04 名古屋大学VBL中心 博士后研究员

　　2012-05至2012-06 中国工程物理研究院电子工程研究所 助理研究员

　　2012-07至2017-10 中国工程物理研究院电子工程研究所 副研究员

　　2017-11至今 中国工程物理研究院电子工程研究所 研究员

　　——————————————————————————————

　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　1.Exploiting nonlinearity to enhance the sensitivity of mode-localized mass sensor based on electrostatically coupled MEMS resonators. 2020. Nonlinear Mechanics.

　　2.Surface roughness of Z-cut quartz etched by ammonium bifluoride and ammonium bifluoride mixed with isopropyl alcohol solutions. 2017. Micromachines

　　3.Research on temperature characteristic of parasitic capatitance in MEMS capacitive accelerometer. 2019. Sensors and Actuators A: Physical

　　4.A low-g MEMS inertial switch based on direct contact sensing method. 2019. IEEE Transactions on components, Packaging and Manufacturing Technology

　　5.A facile preparation of flexible and porous reduced graphene oxide woven fabric/polydimethylsiloxane composites for EMI shielding. 2019. Materials Research Express

　　6.201912 中国产学研合作创新与促进奖

　　7.201512 四川电子科学技术奖二等奖

　　8.发明专利：一种全金属电容极板微加速度传感器。ZL201410263417.7

　　9.发明专利：一种SOI MEMS牺牲层腐蚀时金属电极的保护方法。ZL201510769731.7

　　10.发明专利：一种基于五层SOI硅片的MEMS单片集成方法。ZL201510769734.0

　　11.发明专利：一种闭环微加速度计的敏感结构。ZL201810137336.0

　　12.发明专利：一种开环微加速度计。ZL201810137325.2

      ——————————————————————————————

　　学会、社团兼职情况

　　2017-08至今 全国惯性计量技术委员会 委员

　　2018-07至今 中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会 理事

　　2016-10至今 重庆市惯性技术学会 副理事长

　　2018-11至今 中国机械工程学会微纳制造技术分会 委员

　　2019-06至今 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336) 委员