中国微米纳米技术学会理事-周维虎

       姓名：周维虎

　　职称：研究员

　　职务：光电技术研发中心主任

　　单位：中国科学院微电子研究所

　　研究方向：集成电路光学检测技术与装备，光电精密测量技术与仪器，飞秒激光测量技术、先进制造激光在线测量

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　　教育背景

　　1979.9-1983.7 合肥工业大学精密仪器系 精密仪器及机械 工学学士
       1988.8-1990.1 法国斯特拉斯堡大学 精密光电测量技术 公派访问学者
      1996.9-2000.12 合肥工业大学精密仪器系 精密仪器及机械 工学博士
      2001.4-2003.6 美国University of Wisconsin-Milwaukee(IMS Center) 智能设备诊断技术 博士后
      2003.7-2004.7 美国Oakland University机械工程系 精密激光测量技术 博士后

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　　工作经历

      1983.7-1990.2 航空部北京304所 研究室副主任/高级工程师
       2001.4-2004.7 美国自动精密工程公司（API） 研究员
      2005.5-2018.10 中科院光电研究院 室主任/研究员
      2018.11至今 中国科学院微电子研究所 中心主任/研究员

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　　主要学术贡献(包括主要论文、获奖情况)

　　周维虎研究员一直从事精密光电测量技术研究，主持科技部重大仪器专项、国家重点研发计划、自然基金重大仪器专项、国防科工局重点预研、装备发展部军用测试仪器、中科院仪器装备项目等50余项课题，获得中国机械工业科学技术发明特等奖、中国计量测试学会技术发明一等奖等7项省部级奖励，发表论文150余篇，申请专利40余项，编写教材1部，起草国家计量检定规程和规范4部，获得国务院特殊津贴、中科院朱李月华优秀教师奖、江苏省双创领军人才、青岛市创新领军人才等称号。成功研发国际上首台飞秒激光跟踪仪、国内首台三自由度激光跟踪仪，打破了国外在激光跟踪测量领域的技术垄断。目前重点研究领域为集成电路制造光学精密测试技术，承担了国家重点研发计划“硅基 MEMS 高深宽比结构多模式光学测量技术”、“芯片封装缺陷在线视觉测量技术”等项目研究。担任中国科学院大学岗位教授、博士生导师，北京航空航天大学、华中科技大学、大连理工大学、吉林大学、合肥工业大学等十余所高校兼职教授和博士生导师，南京航空航天大学特聘教授，湖北工业大学楚天学者教授。担任《计测技术》、《测控技术》和《光电子》期刊编委，《Optical Engineering》、《中国航空学报（中、英文）》等十余份国内外期刊审稿人。

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　　学会、社团兼职情况

　　科技部科学仪器重大专项、科技部制造基础专项 总体组专家
       全国光电测量标准化技术委员会 副主任委员
       中国计量测试学会计量仪器专业委员会 副主任委员
      中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会 副主任委员
      中国光学工程学会团体标准化委员会 副主任委员