不断推陈出新的微纳应用与相对落后的为制造能力之间的矛盾是微纳制造中的主要矛盾，发展先进微纳制造能力一直是微纳制造研究的主要目标，其中，人工微纳结构的可靠制造是微纳应用中的关键。然而，目前的微纳加工方法仍然难以同时满足微纳结构在非常规材料、极小尺度、极高精度、多维度、跨尺度等多方面的极端制造需求。因此，面对上述难加工结构，报告人发展处多种高能束加工工艺，在极小尺度、极高精度、多维度功能结构加工上取得了一系列进展，为难加工结构加工提供可靠的制造方案。

主讲介绍

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主持介绍

楚尧，启元实验室助理研究员，清华大学“水木学者”博士后，中国科协第七届青年人才托举工程入选者。主要从事可穿戴生理信号检测、柔性传感以及微纳能源等领域研究。近年来在柔性脉搏波压力传感器和接触-分离式纳米发电机的传感特性等方面开展了一系列研究：提出了一种可用于中医脉诊的高灵敏度、大量程的三明治结构柔性脉搏波压力传感器，可精确采集人体桡动脉在不同压力下与不同位置处的脉搏波；首次推导出了接触-分离式纳米发电机在阻性负载下输出的解析解，揭示了瞬态和稳态过程的影响因素，提出了基于纳米发电机的位移传感器设计与优化流程。相关研究成果已发表于Advanced Functional Materials、Nano Energy等期刊以及IEEE MEMS、NEMS等国际会议，已申请发明专利12项。博士后期间承担中国博士后科学基金特别资助和面上资助各一项。2022年3月加入启元实验室，从事微系统软件设计平台相关研究。