中国科学技术大学微纳研究与制造中心是中国科学技术大学开展和推进纳米科技及其交叉学科研究的主要创新平台，秉承“集中投入、统一管理、开放共用、资源共享”宗旨建设的第六个大型公共实验中心，是我校建设世界一流研究型大学的重要举措。

中心相关情况

中心的建设旨在促进基于纳米科学及纳米工程的信息、能源、电子、材料、医疗、环境等领域多学科交叉研究的发展；通过持续建设，逐步建立起条件一流、功能完善、管理规范、先进高效的优质资源公用系统和共享平台，建设适应于当前及未来纳米科学及纳米工程领域研究发展所需要的基础支撑体系，成为具有国际先进水平的、面向国内外开放的高水平微纳米科学研究和制造的公共技术平台。

中心的建设目标是建设成为微纳米相关研究的先进制造利器、学科交叉纽带、科技创新平台和人才培养基地。

微纳研究与制造中心目前已建成高等级洁净室1200平方（其中百级洁净室500平方，千级洁净室500平方，10万级表征测试洁净室200平方），洁净室各项主要硬件环境指标达世界一流，国内领先的标准，有力保障了高质量的微纳加工能力。洁净室全天候（7天x24小时）面向校内外用户开放。

中心现有仪器设备100台套，总价值约1亿元人民币。目前正在运行一条相对完整的微纳米加工工艺线，涵盖了图形发生、薄膜制备、材料刻蚀、键合封装、表征测试等常见的工艺段，可以进行常见微纳米结构和器件的加工，极限线宽达到10nm，整体设备工艺能力达到国内外先进微纳加工的水平。

中心目前有正式注册用户超过1800人，服务课题组284个，主要分布于物理、化学、材料、工程、核科学、信息、生命及地球空间科学等16个重点学科,支撑的科研项目总数超过400项。

加工示例

官网：http://nano.ustc.edu.cn/