中国微米纳米技术学会理事-郝一龙

姓名：郝一龙

职称：教授

职务：无

E-mail：haoyl@pku.edu.cn

研究方向：MEMS

工作单位：北京大学微电子学研究院

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教育背景

1981.9-1985.7 北京大学计算机系微电子专业，本科

1985.7-1988.8 邮电部半导体所，助工

1988.9-1991.7 北京大学计算机系，硕士

1991.7-         北京大学微电子所，助教、讲师、副研、教授

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主要学术贡献（包括主要论坛、获奖情况）

近年来主要工作集中在MEMS设计加工技术、微型加速度计及三代半导体技术研究工作，曾主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺；

主持了新型化学传感器，电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。

目前工作重点为高精度微型加速度计，主持开发的电容式加速计是国内目前唯一采用自主开发专用处理电路的两片式结构的微加速度计，性能指标完全温区满足装备要求。

近十年来发表文章100余篇，获专利4项，合作出版教材1部，获国家发明二等奖1项，北京市科技进步一等奖一项，北京市精品教材一部。

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学会、社团兼职情况

第二届微米纳米学会副理事长

教育部科技委学部委员

微米纳米加工技术国家级重点实验室学术委员会副主任

中国微机械标准委员会副主任委员