中国微米纳米技术学会理事-王向朝

　　姓名：王向朝

　　职称：研究员

　　职务：实验室主任

　　单位：中国科学院上海光学精密机械研究所

　　E-mail：wxz26267@siom.ac.cn

    研究方向：纳米光学检测技术、高端光刻机技术

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　　教育背景

　　1982 　　　　　大连理工大学　学士

　　1989-1995　　　日本新潟大学工学院　硕士、博士

　　1995.4-1998.8　日本新潟大学　助理教授（文部教官）。

　　1998.9　　　　　中科院“百人计划”回国，进入中科院上海光学精密机械研究所，研究员，博士生导师，现任信息光学与光电技术实验室主任。

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　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　主持并完成国家科技重大专项、国家863计划、国家自然科学基金、中科院“百人计划项目”、中科院高技术研究与发展重点项目、上海市基础研究重点项目等二十余项国家、中科院、上海市科研任务。多项科研成果经国家级测试机构检测并经专家委员会鉴定达到国际先进水平，研发的多项关键技术取得重大经济效益。

　　申请估计与国内专利197项（其中发明专利142项），已获国际与国内专利授权127项（其中发明专利70项），获得计算机软件著作权3项。在《optics letters》、《optics express》等国际光学领域一流学术期刊，《journal of micro/nanolithography，MEMS，and MOEMS》、《journal of vacuum science &technology》等国际光刻技术领域一流学术期刊，《中国科学》、《物理学报》等国内一流学术期刊上发表学术论文270余篇（均为EI收录），其中120余篇被SCI收录。

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　　学会、社团兼职情况

　　 任国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家总体专家组成员、“十三五规划”编制专家组成员；国家科技重大专项中国科学院光刻机关键部件研发任务技术总体副组长；光刻设备产业技术创新战略联盟专家委员会副主任委员；中国光学学会光学测试专业委员会副主任委员；中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员。

　　中国微米纳米技术学会理事