
中国微米纳米技术学会理事-伊福廷
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- 发布时间:2018-06-15 11:18
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【概要描述】中国微米纳米技术学会理事-伊福廷 姓名:伊福廷 职称:研究员 职务:无 单位:中国科学院物理研究所 E-mail:YIFT@IHEP.AC.CN 研究方向:LIGA技术、金属微结构、纳米岛光刻———————————————————————————————————— 教育背景 1986年西安工业学院,光学仪器专业,1989年北京工业大学精密仪器专业攻读硕士,1995年高能物理
中国微米纳米技术学会理事-伊福廷
【概要描述】中国微米纳米技术学会理事-伊福廷 姓名:伊福廷 职称:研究员 职务:无 单位:中国科学院物理研究所 E-mail:YIFT@IHEP.AC.CN 研究方向:LIGA技术、金属微结构、纳米岛光刻———————————————————————————————————— 教育背景 1986年西安工业学院,光学仪器专业,1989年北京工业大学精密仪器专业攻读硕士,1995年高能物理
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姓名:伊福廷
职称:研究员
职务:无
单位:中国科学院物理研究所
E-mail:YIFT@IHEP.AC.CN
研究方向:LIGA技术、金属微结构、纳米岛光刻
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教育背景
1986年西安工业学院,光学仪器专业,1989年北京工业大学精密仪器专业攻读硕士,1995年高能物理研究所同步辐射在职博士,2000年获得理学博士学位。
1992年开始从事同步辐射X光光刻工作,先后参加中科院的LIGA技术研究项目,国家攀登计划,863项目,自然基金仪器重大项目,获得自然基金面上项目二次,科学院先导专项等。20多年来一直从事MEMS和LIGA技术研究工作,在高能物理研究所创建了LIGA技术和MEMS技术研究,在国内开窗了纳米岛光刻技术的研究工作。先后与国内多家研究机构合作,完成了微型气体质谱仪电机结构、小型雾化器阵列孔结构、Gabor波带片、菲涅尔波带片、正电子慢化器、微流路生物芯片、微过滤器、X射线遮光膜等为期间,有些微结构器件已经投入了实际的使用中。
借助LIGA技术优势,完成了大高宽比金属结构、金属结构期间及金属结构模具等,未来发展目标是建设以LIGA技术为核心的微纳金属结构制造中心。
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主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)
发表文章20多篇,拥有多项专利。期刊包括Ssolar Eenergy, Nanotechnology,Microsystem Technology, Chinese Physics B,Applied Surface Science, AIP Advances,Solar Energy Materials&Solar Cells,AIP Aadvances,Materials Letters,Advanced Materials Research等
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学会、社团兼职情况
中国微米纳米技术学会理事
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