姓名：伊福廷

　　职称：研究员

　　职务：无

　　单位：中国科学院物理研究所

　　E-mail：YIFT@IHEP.AC.CN

    　研究方向：LIGA技术、金属微结构、纳米岛光刻

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　　教育背景

　　1986年西安工业学院，光学仪器专业，1989年北京工业大学精密仪器专业攻读硕士，1995年高能物理研究所同步辐射在职博士，2000年获得理学博士学位。

　　1992年开始从事同步辐射X光光刻工作，先后参加中科院的LIGA技术研究项目，国家攀登计划，863项目，自然基金仪器重大项目，获得自然基金面上项目二次，科学院先导专项等。20多年来一直从事MEMS和LIGA技术研究工作，在高能物理研究所创建了LIGA技术和MEMS技术研究，在国内开窗了纳米岛光刻技术的研究工作。先后与国内多家研究机构合作，完成了微型气体质谱仪电机结构、小型雾化器阵列孔结构、Gabor波带片、菲涅尔波带片、正电子慢化器、微流路生物芯片、微过滤器、X射线遮光膜等为期间，有些微结构器件已经投入了实际的使用中。

　　借助LIGA技术优势，完成了大高宽比金属结构、金属结构期间及金属结构模具等，未来发展目标是建设以LIGA技术为核心的微纳金属结构制造中心。

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　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　发表文章20多篇，拥有多项专利。期刊包括Ssolar Eenergy, Nanotechnology，Microsystem Technology, Chinese Physics B,Applied Surface Science, AIP Advances,Solar Energy Materials&Solar Cells,AIP Aadvances,Materials Letters,Advanced Materials Research等

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　　学会、社团兼职情况

　　中国微米纳米技术学会理事