姓名：陈大鹏

　　职称：研究员

　　职务：副所长

　　单位：中科院微电子研究所

　　E-mail：dpchen@ime.ac.cn

    　研究方向：微细加工技术

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　　教育背景

　　1986.-1990.7　合肥工业大学学士

　　1992.9-1995.7　中国科学技术大学硕士

　　1995.9-1998.7　中国科学技术大学博士

　　1990.9-1992.7　安徽黄山电子集团工程师

　　1998.9-2011.9　中科院微电子研究所研究员、博导

　　2011.10-至今　中科院微电子研究所副所长

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　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　参与或主持过二十多项国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关、国家集成电路重大专项等课题。在国家“九五”攻关期间，参与超大规模集成电路关键技术国家攻关计划，该项目鉴定验收后获2004年北京市科技进步一等奖。“十五”期间，担任微电子所CMOS/MEMS硅工程中心主任，所主持的总装预研项目获总装备部“十五武器装备预研先进个人”，在“十一五”至“十二五”期间，担任国家集成电路先导工艺研发中心主任，承担了国家集成电路成套装备及工艺研究的重大专项项目，作为总投资7.2亿的国家22纳米CMOS先导工艺平台建设项目的负责人，负责组织了中科院微电子所、北京大学、清华大学、南京大学、中科院微系统所、复旦大学、中芯国际等一大批单位，筹建了我国第一个面向22纳米技术代研究的8英寸CMOS先导工艺研发中心。荣获2014年中科院杰出成就奖。

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　　学会、社团兼职情况

　　中国微米纳米技术学会理事

《半导体学报》、《China Physics Letters》（CPL）、Electrichemical and Solid-State Letters(ECSL)、Applied Surface Science（ASS）、《中国科学通报》、《中国科学》、《中国科学技术大学学报》、《微细加工技术》、《微纳电子技术》、《电子工业设备》等多家学术期刊的编委和审稿人。