职称：研究员

　　职务：研究所副总工程师

　　单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

　　研究方向：微纳传感器和MEMS/NEMS技术

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　　教育背景

　　1982.09-1987.07 清华大学无线电电子学系 半导体器件与物理 学士学位

　　1992.08-1998.01 复旦大学电子工程系学 微电子学 博士学位

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　　工作经历

　　1987.09-1992.08 机械部沈阳仪器仪表工艺研究所 助工、工程师

　　1998.01-1999.01 香港科技大学 博士后

　　1999.01-2000.01 新加坡南洋理工大学 Research Fellow

　　2000.01-2001.01日本东北大学(Tohoku University) 讲师(COE Fellowship)

　　2001.01 至今 中科院上海微系统与信息技术研究所 研究员、博导;历任传感技术国家重点实验室主任、所长助理;现任所副总工程师。

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　　主要学术贡献(包括主要论文、获奖情况)

　　在SCI期刊上发表论文约三百篇，最高单篇他引四百多次。在IEDM、IEEE MEMS和Transducers等领域顶级会议发表论文近两百篇。发明专利100多项，且有30多项已成功向企业授权转让。研发的MEMS高g加速度传感器为解决国家重要需求做出突出贡献。获得国家技术发明二等奖一项、上海市技术发明一等奖一项。2007年获国家杰出青年科学基金资助，2004年获中科院“百人计划”终审优秀，2004年享受国务院特殊津贴，2006年入选新世纪百千万人才国家级人选，2006年获上海市青年科技英才，2009年指导博士生获得全国百篇优秀博士论文。

　　2020年至今的代表性论文：

　　1.Xueqing Wang, Fanglan Yao, Pengcheng Xu, Ming Li, Haitao Yu, and Xinxin Li，Quantitative Structure−Activity Relationship of Nanowire Adsorption to SO2 Revealed by In Situ TEM Technique，Nano Lett. 2021, 21, 1679−1687.

　　2.Li, W., Li, M., Wang, X, Xu, P., Yu, H., and Li, X.: ‘T An in-situ TEM microreactor for real-time nanomorphology & physicochemical parameters interrelated characterization’, Nano Today, 2020, 35, pp. 100932.

　　3.Xu, P., Li, X., and Yu, H.: ‘Thermodynamic Phase-like Transition Effect of Molecular Self-assembly’, J. Phys. Chem. Lett., 2020, pp. 126-131.

　　4.Wang, X., Cheng, Y., Cai, S., Chen, J., Xu, P., Chen, Y., Yu, H., Xu, T., Zhang, S., and Li, X.: ‘Resonant-Cantilever-Detected Kinetic/Thermodynamic Parameters for Aptamer-Ligand Binding on a Liquid-Solid Interface’, Analytical Chemistry, 2020, 92, (16), pp. 11127-11134.

　　5.Zhang, W., Gu, J., Li, L., and Li, X.: ‘Through-Glass-Via Based Microstrip Band-Pass Filters Fabricated With Wafer-Level Low-Melting-Point Alloy Micro-Casting’, IEEE Electron Device Letters, 2020, 41, (7), pp. 1106-1109.

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　　学会、社团兼职情况

　　2006年起至今 中国仪器仪表学会微纳器件与系统分会 副理事长

　　2018年起至今 中国机械工程学会微纳制造分会 副理事长

　   2008年起至今(陆续) 4本SCI期刊：J Micromech. Microeng.；Scientific Report；Microsystem & Nanoengineering； Micromachines 副主编、编委

　　2003年起(陆续) 上海交通大学、复旦大学、大连理工大学、苏州大学、上海科技大学 兼职教授

       现任领域国际顶级会议Transducers组织的亚太区域主席