中国微米纳米技术学会理事-王敏锐

姓名：王敏锐

职称：研究员

　　职务：主任助理

　　单位：中科院苏州纳米科技与纳米仿生研究所

　　研究方向：MEMS微纳光学、压电MEMS器件、惯性器件等

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　　教育背景

　　2000年大连交通大学 材料科学与工程 学士

　　2003大连理工大学　机械制造及自动化　硕士

　　2006大连理工大学　机械电子工程（微机电工程）　博士

　　2007-2008中科院苏州纳米是助理研究员

　　2008-2013中科院苏州纳米研究所福研员/纳米加工平台副总工

　　2013-至今中科院苏州纳米是，百人计划研究员、主任助理

　　2015-今江苏省（苏州）纳米产业技术研究院副院长、江苏省微纳制造技术研究所筹建组副组长
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　　主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

　　攻读博士期间主要从事压电式微纳机电系统技术研究，是国家自然科学基金重点基金“适用于SOC的声、热、力传感器系统”，国家自然科学基金项目“甲醛气体传感器研制及特性研究”的主要参与人。

　　在从事半导体制程中的湿制程工艺、氧化扩散、光刻、溅射及刻蚀方面，压电薄膜制备及其微纳传感器/执行器设计制备方面，已经具有超过5年的研究经验。目前就职于苏州纳米所纳米加工平台，主要从事大功率LED散热技术、压电微纳米光机电系统的研究。2013年入选中科院现有关键技术人才。

　　发表论文20余篇，单篇最高他引100余次。申请专利11项，已授权7项。

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　学会、社团兼职情况

　中国微米纳米技术学会理事；