
中国微米纳米技术学会理事-王敏锐
- 分类:理事专栏
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- 发布时间:2018-06-15 13:33
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【概要描述】中国微米纳米技术学会理事-王敏锐 姓名:王敏锐职称:研究员 职务:主任助理 单位:中科院苏州纳米科技与纳米仿生研究所 研究方向:MEMS微纳光学、压电MEMS器件、惯性器件等—————————————————————————————— 教育背景 2000年大连交通大学材料科学与工程学士 2003大连理工大学 机械制造及自动化 硕士 2006大连理工大学 机械电子工程(微机电工程)
中国微米纳米技术学会理事-王敏锐
【概要描述】中国微米纳米技术学会理事-王敏锐 姓名:王敏锐职称:研究员 职务:主任助理 单位:中科院苏州纳米科技与纳米仿生研究所 研究方向:MEMS微纳光学、压电MEMS器件、惯性器件等—————————————————————————————— 教育背景 2000年大连交通大学材料科学与工程学士 2003大连理工大学 机械制造及自动化 硕士 2006大连理工大学 机械电子工程(微机电工程)
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中国微米纳米技术学会理事-王敏锐
姓名:王敏锐
职称:研究员
职务:主任助理
单位:中科院苏州纳米科技与纳米仿生研究所
研究方向:MEMS微纳光学、压电MEMS器件、惯性器件等
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教育背景
2000年大连交通大学 材料科学与工程 学士
2003大连理工大学 机械制造及自动化 硕士
2006大连理工大学 机械电子工程(微机电工程) 博士
2007-2008中科院苏州纳米是助理研究员
2008-2013中科院苏州纳米研究所福研员/纳米加工平台副总工
2013-至今中科院苏州纳米是,百人计划研究员、主任助理
2015-今江苏省(苏州)纳米产业技术研究院副院长、江苏省微纳制造技术研究所筹建组副组长
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主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)
攻读博士期间主要从事压电式微纳机电系统技术研究,是国家自然科学基金重点基金“适用于SOC的声、热、力传感器系统”,国家自然科学基金项目“甲醛气体传感器研制及特性研究”的主要参与人。
在从事半导体制程中的湿制程工艺、氧化扩散、光刻、溅射及刻蚀方面,压电薄膜制备及其微纳传感器/执行器设计制备方面,已经具有超过5年的研究经验。目前就职于苏州纳米所纳米加工平台,主要从事大功率LED散热技术、压电微纳米光机电系统的研究。2013年入选中科院现有关键技术人才。
发表论文20余篇,单篇最高他引100余次。申请专利11项,已授权7项。
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学会、社团兼职情况
中国微米纳米技术学会理事;
中国半导体协会MEMS分会副秘书长
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