职称：教授

单位：哈尔滨工业大学

研究方向：从事MEMS、传感器与执行器及集成电路领域研究

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教育背景

1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位

1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位

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工作经历

1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师

1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授

1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授

2003- 目前：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师

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主要学术贡献(包括主要论坛、获奖情况)

[1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434

[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149

[3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172

[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.

[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.

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学会、社团兼职情况

中国微米纳米技术学会常务理事

总装微纳米技术专家组 成员

总装军用电子元器件型谱系列专家组成员

电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任

东北微机电系统(MEMS)技术联合体 副秘书长

《传感器技术》 编委

黑龙江省政协委员