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中国微米纳米技术学会

CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECHNOLOGY

CSMNT2019 会士——王跃林

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【摘要】:

CSMNT2019会士风采

王跃林

 

王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员,1982年浙江大学获学士学位,1985年哈尔滨工业大学获硕士学位,1989年清华大学获博士学位。19858月开始在浙江大学信息与电子工程学系工作,1991年晋升副教授,1993年晋升教授,1994年聘为博导。1998年开始在上海微系统所工作。1982年开始从事微传感器的研究工作,1986年开始从事MEMS的研究工作。连续三届国家973项目首席科学家。

王跃林教授一直从事MEMS传感器研究,作为首席科学家主持了三个MEMS国家973项目,MEMS传感器的核心是微机械结构,如何使微机械结构在集成电路产线实现量产是MEMS传感器的核心问题。他从传感器基本结构出发,基于工业自限制特性,提出并建立了仅需单面加工的MEMS传感器设计制造和量产体系,大幅提升了我国MEMS规模制造能力,研制的硅盒结构压力传感器年出货量超过2000万只,是出货量最大的国产MEMS汽车压力传感器和血压传感器,打破了境外产品一统天下的局面。培养的学生获全国优博论文、中科院优博论文、上海市优博论文、中科院院长特别奖和优秀奖等奖项。

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