关于举办“CSMNT学科前沿——

电声MEMS器件及其射频/传感应用研修班”的通知

　　电声MEMS(微电子机械系统)器件包括声表面波(SAW)和体声波(BAW)器件，先后发轫于1960s和1980s，主要应用于射频频率和传感两大方向。SAW器件利用SAW对电信号进行模拟处理，由于SAW的传播速度比电磁波慢十万倍，而且在它的传播路径上容易取样和进行处理，因此，用SAW模拟电子学的各种功能，能使电子器件实现超小型化和多功能化。

　　同时，SAW器件在甚高频和超高频波段内以十分简单的方式提供了其它方法不易得到的信号处理功能。SAW射频频率器件包括振荡器、滤波器、延迟线、卷积器、无源电子标签等，SAW传感器广泛用于温度、力学、化学量的测量。BAW器件的基础元件是薄膜体声波谐振器(FBAR)，FBAR可以视为“石英晶振IC工艺兼容的薄膜版本”。

　　BAW射频频率器件，包括振荡器、滤波器和双工器，已广泛应用于移动通信终端射频前端，2015年已超越微惯性器件、微麦克风等传统的MEMS核心器件，市场规模近15亿美元，成为产值第一的MEMS器件。从高灵敏度的物理、生化、辐照传感，到声电泳的微流体操纵，BAW技术正在向传感器和执行器应用快速拓展。BAW射频频率器件的现状是国外某公司专利垄断、一支独大，国内诸多顶尖团队正奋力突破;BAW传感器则很有可能是一片更为广阔的蓝海，正待有志者劈波斩浪。

　　两种电声MEMS器件都是材料科学、声学与电子学相结合的产物，有诸多相似点，也有各自的特色。本届研修班，将从材料、设计、工艺、器件与应用的不同角度，比较全面地诠释两种电声MEMS器件的工程技术基础。

　　一、组织单位：

　　主办单位：中国微米纳米技术学会

　　承办单位：中国工程物理研究院电子工程研究所、中国电子科技集团公司26所、

　　电子科技大学微固学院

　　二、研修主题：电声MEMS器件及其射频/传感应用

　　三、研修时间：2016年6月24-27日(23号报到) 地点：成都

　　四、研修形式：授课、技术沙龙、科普讲座相结合

　　五、研修对象：从事射频/传感MEMS器件研发与应用的高校教师及研究生、企业技术管理专家与研发工程师、及相关领域投资机构的咨询师与分析师等。

　　详细课程请参阅附件。